スペシャルシリーズのBE・BU・BDを用意しています。
BEは使用環境や目的 に考慮し、スタンダードシリーズへ工夫を加えました。
BUはふた付仕様で昇華性材料用、 BDは複合セラミックス(BN-TiB2)製のブロックボードでAlやNi用として 寿命を長く保ちます。
材質については、タングステンとモリブデンをほぼ標準としていますが、特別注文として タンタルも承ります。

  • BD-1・BD-2は上方蒸着一般用です。
  • BD-3は膜厚分布均一用です。
  • BD-4・BD-5も上方蒸着一般用ですが、前者に比べて機械的強度に優れ、蒸着特性もより安定しています。
製品名Lwidt注文No.
BD-11106501.53*V90101
BD-21106402.04*V90102
BD-310010402.54*V90103
BD-41106402.04*V90104
BD-51106602.04*V90105

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