洗浄前 Veeco プラッター 6inch×5枚
洗浄後 Veeco プラッター 6inch×5枚

※プロセス:GaN ON Si   (汚れ内訳 AiNバッファー層+GaN Epi 1μ)

洗浄前AiX suwan 2inch
洗浄後AiX suwan 2inch

※ポケット内のシミはSiCコートの痛みによるものです。
※プロセス:GaN ON Si   (汚れ内訳 AiNバッファー層+GaN Epi 30μ)

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