洗浄前 Veeco プラッター 6inch×5枚
洗浄後 Veeco プラッター 6inch×5枚
※プロセス：GaN ON Si （汚れ内訳 AiNバッファー層＋GaN Epi 1μ）
洗浄前AiX suwan 2inch
洗浄後AiX suwan 2inch
※ポケット内のシミはSiCコートの痛みによるものです。
※プロセス：GaN ON Si （汚れ内訳 AiNバッファー層＋GaN Epi ３０μ）