![](https://www.ostech.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/07/dry_cleaning1-600x424.png)
洗浄前 Veeco プラッター 6inch×5枚
![](https://www.ostech.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/07/dry_cleaning2-600x424.png)
洗浄後 Veeco プラッター 6inch×5枚
※プロセス:GaN ON Si (汚れ内訳 AiNバッファー層+GaN Epi 1μ)
![](https://www.ostech.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/07/dry_cleaning3-600x424.jpg)
洗浄前AiX suwan 2inch
![](https://www.ostech.co.jp/wp/wp-content/uploads/2020/07/dry_cleaning4-600x424.jpg)
洗浄後AiX suwan 2inch
※ポケット内のシミはSiCコートの痛みによるものです。
※プロセス:GaN ON Si (汚れ内訳 AiNバッファー層+GaN Epi 30μ)