標準仕様

直�?�?�??? (mm)
2 inch50.0±0.5�?
3 inch76.0±0.5�?
4 inch100.0±0.5�?
5 inch125.0±0.5�?
6 inch150.0±0.5�?
8 inch200.0±0.5�?

方位(単位�?°?? 全て<100>±1.0

厚�??�?み�? (μm)
2 inch350±20
3 inch380±20
4 inch525±25
5 inch625±25
6 inch625±25
8 inch725±25
抵�?�?�?
?��?Boron1??20Ωcm
?��?Phos1??10Ωcm
OF�?�??? (mm)
2 inch16.0±2.0
3 inch22.0±2.0
4 inch32.5±2.5
5 inch42.5±2.5
6 inch47.5±2.5
8 inch57.5±2.5

OF方位(単位�?°?? 全て(110)±1.0

* そ�?他各種仕様につきましても�?�お問い合わせください�?

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