特徴
シリコンにマッチングした熱膨張係数を有し、熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高いサセプターです。
材質は、高純度品FAN-090（99.9%）であり、 耐プラズマ性及びフッ素系ガスの耐食性に優れています。
大型サイズの作製が可能です。（最大サイズ：直径465㎜）
＊現在、650㎜対応予定（2015年度予定）
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高純度MOCVD用AlNサセプター
Mocvd