特徴

シリコンにマッチングした熱膨張係数を有し、熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高いサセプターです。
材質は、高純度品FAN-090(99.9%)であり、 耐プラズマ性及びフッ素系ガスの耐食性に優れています。
大型サイズの作製が可能です。(最大サイズ:直径465㎜)
*現在、650㎜対応予定(2015年度予定)

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