AlGaN/GaN on Sapphire wafer 的回收清洗和 MOCVD 基座的沉积膜清洗
※工艺:GaN ON Si(污垢细目AiN缓冲层+GaN Epi 1μ)
※口袋中的细胞是由于 SiC 涂层损坏造成的。
※工艺:GaN ON Si(污垢细目AiN缓冲层+GaN Epi 30μ)
Dry cleaning
AlGaN/GaN on Sapphire wafer 的回收清洗和 MOCVD 基座的沉积膜清洗
※工艺:GaN ON Si(污垢细目AiN缓冲层+GaN Epi 1μ)
※口袋中的细胞是由于 SiC 涂层损坏造成的。
※工艺:GaN ON Si(污垢细目AiN缓冲层+GaN Epi 30μ)