洗涤前 Veeco 盘片 6 英寸 x 5 张

※プロセス:GaN ON Si   (汚れ内訳 AiNバッファー層+GaN Epi 1μ)

洗涤前AiX suwan 2inch

※ポケット内のシミはSiCコートの痛みによるものです。
※プロセス:GaN ON Si   (汚れ内訳 AiNバッファー層+GaN Epi 30μ)