洗涤前 Veeco 盘片 6 英寸 x 5 张

※プロセス：GaN　ON　Si　　　（汚れ内訳　AiNバッファー層＋GaN　Epi　1μ）

洗涤前AiX suwan 2inch

※ポケット内のシミはSiCコートの痛みによるものです。
※プロセス：GaN　ON　Si　　　（汚れ内訳　AiNバッファー層＋GaN　Epi　３０μ）